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提升式

提升式化合物长晶炉

采用提升式进行化合物晶体生长,即通过电阻加热碳加热器,融化石墨坩埚内熔料。籽晶浸入溶液后旋转提拉,进行化合物晶体生长。

 

自主研发上称重法自动控制直径(ADC)系统与机械结构。使用该自动化技术的单晶炉取得了良好的晶体外形控制效果,并成功长出高品质CaF2晶体。目前该自动化技术已应用于CaF2系列晶体生产线,明显提高了晶体批产质量。

 

腔体内壁经镜面抛光,减少气体附着,具有高真空获得能力与长时间保压能力;高精度籽晶和坩埚的升降与旋转运动;可以实现自动工艺方式;系统自动记录工艺过程中的重要参数,可以生成Excel文件,方便用户查询;配有高精度称重装置,其测量结果可参与长品晶工艺控制。

提升式化合物长晶炉
晶体尺寸 6 ~ 12英寸
工艺 提升式
加热方式 电阻式
基本参数 主机尺寸 根据选型对应不同的尺寸
整机重量 约4 ~ 5T
支持系统 电     源 容    量 侧加86.7kVA/低加50.7kVA
电    压 AC380V,3P,50Hz
冷 却 水 压    力 0.35~0.5MPa
流    量 >200L/min
工艺气体 压    力 >0.2MPa
压缩空气 压    力 0.5 ~ 1.0MPa

全国热线

021-36162928

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