采用提升式进行化合物晶体生长,即通过电阻加热碳加热器,融化石墨坩埚内熔料。籽晶浸入溶液后旋转提拉,进行化合物晶体生长。
自主研发上称重法自动控制直径(ADC)系统与机械结构。使用该自动化技术的单晶炉取得了良好的晶体外形控制效果,并成功长出高品质CaF2晶体。目前该自动化技术已应用于CaF2系列晶体生产线,明显提高了晶体批产质量。
腔体内壁经镜面抛光,减少气体附着,具有高真空获得能力与长时间保压能力;高精度籽晶和坩埚的升降与旋转运动;可以实现自动工艺方式;系统自动记录工艺过程中的重要参数,可以生成Excel文件,方便用户查询;配有高精度称重装置,其测量结果可参与长品晶工艺控制。
提升式化合物长晶炉 | |||
晶体尺寸 | 6 ~ 12英寸 | ||
工艺 | 提升式 | ||
加热方式 | 电阻式 | ||
基本参数 | 主机尺寸 | 根据选型对应不同的尺寸 | |
整机重量 | 约4 ~ 5T | ||
支持系统 | 电 源 | 容 量 | 侧加86.7kVA/低加50.7kVA |
电 压 | AC380V,3P,50Hz | ||
冷 却 水 | 压 力 | 0.35~0.5MPa | |
流 量 | >200L/min | ||
工艺气体 | 压 力 | >0.2MPa | |
压缩空气 | 压 力 | 0.5 ~ 1.0MPa |
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