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下降式

下降式化合物长晶炉

下降式

采用下降式生长化合物晶体,采用石墨电阻加热 方式,生长过程全程保持在真空环境下,生长过程 具有很强的挥发性。
 
性能优势
腔体内壁经镜面抛光,减少气体附着,具有高真空获得能力与长时间保压能力;
可以实现自动工艺方式;
系统自动记录工艺过程中的重要参数,可以生成Excel文件,方便用户查询。
 
 
下降式化合物长晶炉
晶体尺寸 6 ~ 12英寸
工艺 下降式
加热方式 电阻式
基本参数 主机尺寸 根据选型对应不同尺寸
整机重量 约2.5 ~ 3T
支持系统 电     源 容    量 60kVA
电    压 AC380V,3P,50Hz
冷 却 水 压    力 0.35~0.45MPa
流    量 >150L/min
工艺气体 压    力 >0.2MPa
压缩空气 压    力 0.5~1.0MPa

全国热线

021-36162928

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