采用下降式生长化合物晶体,采用石墨电阻加热 方式,生长过程全程保持在真空环境下,生长过程 具有很强的挥发性。
性能优势
腔体内壁经镜面抛光,减少气体附着,具有高真空获得能力与长时间保压能力;
可以实现自动工艺方式;
系统自动记录工艺过程中的重要参数,可以生成Excel文件,方便用户查询。
下降式化合物长晶炉 | |||
晶体尺寸 | 6 ~ 12英寸 | ||
工艺 | 下降式 | ||
加热方式 | 电阻式 | ||
基本参数 | 主机尺寸 | 根据选型对应不同尺寸 | |
整机重量 | 约2.5 ~ 3T | ||
支持系统 | 电 源 | 容 量 | 60kVA |
电 压 | AC380V,3P,50Hz | ||
冷 却 水 | 压 力 | 0.35~0.45MPa | |
流 量 | >150L/min | ||
工艺气体 | 压 力 | >0.2MPa | |
压缩空气 | 压 力 | 0.5~1.0MPa |
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